Последовательный волнодисперсионный рентгенофлуоресцентный спектрометр

ОСНОВНАЯ СПЕЦИФИКАЦИЯ

ДИАПАЗОН ОПРЕДЕЛЯЕМЫХ ЭЛЕМЕНТОВ

От Be до U, базовая комплектация от O до U

РЕНТГЕНОВСКИЙ ГЕНЕРАТОР

- Трубка - Rh  - анод с тонким торцевым окном, мощность 4 кВт

- Параметры - 60 кВ, 150 мА

СИСТЕМА ОХЛАЖДЕНИЯ

Двойной контур, внутренний замкнутый для охлаждения анода, внешний открытый/замкнутый. Рециркулятор воды (опция)

СПЕКТРОМЕТР

ОБЛУЧЕНИЕ ОБРАЗЦА

Сверху; образец вращается со скоростью 60 об/мин

СИСТЕМА ВВОДА ОБРАЗЦА

Маятникового типа, без динамических нагрузок

АВТОСАМПЛЕР

8 позиций, 40-позиционный (опция)

ДЕРЖАТЕЛИ ОБРАЗЦОВ

7 для массивных образцов, один для локального анализа

РАЗМЕР ОБРАЗЦА

51 мм в диаметре, высота 38 мм

ПЕРВИЧНЫЕ ФИЛЬТРЫ

Автоматическая смена Al / Ti / Ni / Zr /без фильтра

АПЕРТУРЫ

Автоматическая смена 5 типов: 500 мкм, 3, 10, 20, 30 мм

ЛОКАЛЬНЫЙ АНАЛИЗ

0,5 мм диаметр, цифровая камера для контроля области анализа (опция)

ПЕРВИЧНЫЕ ЩЕЛИ

Автоматическая смена 3-х типов: стандартная, с высоким разрешением, с высокой чувствительностью

АТТЕНЮАТОР

Автоматическое включение/выключение

СМЕНЩИК КРИСТАЛЛОВ

Автоматическая смена 10 кристаллов в двух направлениях

КРИСТАЛЛЫ-АНАЛИЗАТОРЫ

LiF (200), PET, Ge, TAP стандартные; LiF (220), SX-52, SX-1, SX-14, SX-76, SX-88, SX-98, SX-410 опции

ДЕТЕКТОРЫ

Сцинтилляционный счётчик (SC) для тяжёлых элементов

Проточный пропорциональный счётчик (FPC) для лёгких элементов

СИСТЕМА ПОДАЧИ ГАЗА ДЛЯ FPC

Электронный контроль плотности; потребление газа 5 см3/мин

КОНТРОЛЬ СТЕПЕНИ РАЗРЕЖЕНИЯ

Стабилизатор вакуума

АТМОСФЕРА АНАЛИЗА

Воздух/вакуумирование; предварительное вакуумирование с двумя скоростями; система напуска гелия/азота (опция)

ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ

ЛОКАЛЬНЫЙ АНАЛИЗ

Количественный анализ в точке, картирование с шагом 250 мкм, распределение по интенсивностям/концентрациям

КОЛИЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛИЗ

- Метод фундаментальных параметров (ФП)

- Метод фоновых ФП для расчета толщины и состава пленок

- Метод калибровочных кривых

- Матричная коррекция (5 методов)

- Расчет коэффициентов матричной коррекции методом SFP

- Измерение интенсивностей пиков и интегральных интенсивностей

- Программа сопоставления состава по библиотекам пользователя

КАЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛИЗ

- Измерение линий высших порядков

- Автоматический контроль чувствительности

- Сглаживание, коррекция фона, поиск пиков и их автоматическая идентификация, разделение пиков, расчет фона по 16 точкам

- Редактирование пиков (добавление/вычитание, маркировка, листинг вероятных элементов для неизвестных пиков), наложение до 8 спектров, изменение шкалы измерений (угол 2Θ, длина волны, энергия, линейный и логарифмический масштабы интенсивности излучения)

ОБСЛУЖИВАНИЕ

Непрерывный мониторинг системы